Технология обработки поверхностей в микроэлектронике: производственно-практическое издание/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
Киев:
Тэхника
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 205, [3] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 197-204 |
| ISBN: | 5335005726 |