Технология обработки поверхностей в микроэлектронике: производственно-практическое издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Киев:
Тэхника
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 205, [3] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 197-204 |
| ISBN: | 5335005726 |