Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./

Bibliographic Details
Main Authors: Броудай Ивор (Author), Мерей Джулиус (Author)
Other Authors: Шальнов, А. В., Володин, В. А. (Translator), Першенков, В. С. (Translator), Подлепецкий, Б. И. (Translator)
Format: Book
Published: М.: Мир 1985
Subjects:
микроэлектроника
физические основы
пучки частиц
тонкие пленки
литография
микросхемы
субмикронная микроскопия
микрозонды
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:494, [2] с.: а-ил
Bibliography:Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492

Similar Items