Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./

Библиографическая информация
Главные авторы:	Броудай Ивор (Автор), Мерей Джулиус (Автор)
Другие авторы:	Шальнов, А. В., Володин, В. А. (Переводчик), Першенков, В. С. (Переводчик), Подлепецкий, Б. И. (Переводчик)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Мир 1985
Предметы:	микроэлектроника физические основы пучки частиц тонкие пленки литография микросхемы субмикронная микроскопия микрозонды
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	494, [2] с.: а-ил
Библиография:	Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492

Похожие документы