Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Валиев, К. А. Камиль Ахметович (Автор), Раков, А. В. Александр Васильевич (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Радио и связь 1984
Предметы:	микроэлектроника физические основы фотолитография субмикронная литография микроэлектронные схемы интегральные схемы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы