Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors: Валиев, К. А. Камиль Ахметович (Author), Раков, А. В. Александр Васильевич (Author)
Format: Book
Published: М.: Радио и связь 1984
Subjects:
микроэлектроника
физические основы
фотолитография
субмикронная литография
микроэлектронные схемы
интегральные схемы
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items