Валиев, К. А. К. А., & Раков, А. В. А. В. (1984). Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание. Радио и связь.
Chicago-стиль цитированияВалиев, К. А. Камиль Ахметович, and А. В. Александр Васильевич Раков. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание. М.: Радио и связь, 1984.
MLA-цитированиеВалиев, К. А. Камиль Ахметович, and А. В. Александр Васильевич Раков. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание. Радио и связь, 1984.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
