Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
1984
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 349, [3] с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 338-347 |