|
|
|
|
| LEADER |
02006nam a2200337 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000015130 |
| 008 |
060815s1984 ru_a l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Валиев, К. А.
|q Камиль Ахметович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике:
|b научное издание/
|c К. А. Валиев, А. В. Раков
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Радио и связь
|c 1984
|
| 300 |
|
|
|a 349, [3] с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 338-347
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a физические основы
|
| 653 |
0 |
|
|a фотолитография
|
| 653 |
0 |
|
|a субмикронная литография
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные схемы
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85-3
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85-4
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85-5
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i В 155
|p 45.85
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002:776
|
| 700 |
1 |
|
|a Раков, А. В.
|q Александр Васильевич
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/В 155-616538
|
