Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники/

Библиографическая информация
Главные авторы: Мягков Алексей Тихонович (Автор), Корсетов Евгений Михайлович (Автор)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: М.: Энергия 1979
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР