Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/

Bibliographic Details
Main Authors: Чистяков Юрий Дмитриевич (Author), Райнова Юлия Петровна (Author)
Format: Book
Published: М.: Металлургия 1979
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР