APA (7th ed.) Citation

Чистяков Юрий Дмитриевич & Райнова Юлия Петровна. (1979). Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Металлургия.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Чистяков Юрий Дмитриевич and Райнова Юлия Петровна. Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. М.: Металлургия, 1979.

MLA (8th ed.) Citation

Чистяков Юрий Дмитриевич and Райнова Юлия Петровна. Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Металлургия, 1979.