Чистяков Юрий Дмитриевич & Райнова Юлия Петровна. (1979). Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Металлургия.
Chicago-стиль цитированияЧистяков Юрий Дмитриевич and Райнова Юлия Петровна. Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. М.: Металлургия, 1979.
MLA-цитированиеЧистяков Юрий Дмитриевич and Райнова Юлия Петровна. Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Металлургия, 1979.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.