Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Металлургия
1979
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 408 с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 400-403. -Предм. указ.: с. 404-405 |