Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Металлургия
1979
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 408 с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 400-403. -Предм. указ.: с. 404-405 |