Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Чистяков Юрий Дмитриевич (Автор), Райнова Юлия Петровна (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Металлургия 1979
Предметы:	учебные пособия микроэлектроника физика химия технология
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы