Тонкопленочная технология: Пер. с англ./

Bibliographic Details
Main Authors:	Берри, Р. (Author), Холл, П. (Author), Гаррис, М. (Author)
Other Authors:	Генкин, В. И. (Translator), Гиваргизов, Е. И. (Translator)
Format:	Book
Published:	М.: Энергия 1972
Subjects:	тонкие пленки интегральные микросхемы производство
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items