Тонкопленочная технология: Пер. с англ./

Тонкопленочная технология: Пер. с англ./

Bibliographic Details
Main Authors: Берри, Р. (Author), Холл, П. (Author), Гаррис, М. (Author)
Other Authors: Генкин, В. И. (Translator), Гиваргизов, Е. И. (Translator)
Format: Book
Published: М.: Энергия 1972
Subjects:
тонкие пленки
интегральные микросхемы
производство
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:336 с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 329-335

Similar Items