Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники/

Bibliographic Details
Main Author: Джоветт, Ч. Е. Чарльз Е. (Author)
Other Authors: Кондаков, М. И. (Translator), Соколов, Е. Б. (Translator)
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: Металлургия 1980
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР