Джоветт, Ч. Е. Ч. Е., Кондаков, М. И., & Соколов, Е. Б. (1980). Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники. Металлургия.
Chicago Style (17th ed.) CitationДжоветт, Ч. Е. Чарльз Е., М. И Кондаков, and Е. Б Соколов. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники. М.: Металлургия, 1980.
MLA (8th ed.) CitationДжоветт, Ч. Е. Чарльз Е., et al. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники. Металлургия, 1980.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
