|
|
|
|
| LEADER |
01353nam a2200253 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000015191 |
| 008 |
060815s1980 ru_ l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Джоветт, Ч. Е.
|q Чарльз Е.
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники/
|c Ч. Е. Джоветт ; пер. М. И. Кондаков ; ред. пер. Е. Б. Соколов
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Металлургия
|c 1980
|
| 300 |
|
|
|a 112 с.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 106-111
|
| 546 |
|
|
|a Пер. с англ.
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a МАТЕРИАЛЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a ПРОИЗВОДСТВО
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 42
|p 187234
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 42
|p 187235
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.772.002.3
|
| 700 |
1 |
|
|a Кондаков, М. И.
|4 trl
|
| 700 |
1 |
|
|a Соколов, Е. Б.
|4 trl
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Д 42-729540
|
