Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов/

Библиографическая информация
Главный автор:	Пресс, Ф. П. Феликс Павлович (Автор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	М.: Энергия 1968
Предметы:	ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ ПРОМЫШЛЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	200 с

Похожие документы