Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /

Bibliographic Details
Main Author:	Данилин, Б. С. Борис Степанович (Author)
Other Authors:	Нилендер, Р. А. (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: Энергия 1972
Subjects:	вакуумная техника интегральные микросхемы производство тонкие пленки
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items