APA (7th ed.) Citation

Данилин, Б. С. Б. С., & Нилендер, Р. А. (1972). Вакуумная техника в производстве интегральных схем. Энергия.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Данилин, Б. С. Борис Степанович, and Р. А Нилендер. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: Энергия, 1972.

MLA (8th ed.) Citation

Данилин, Б. С. Борис Степанович, and Р. А Нилендер. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. Энергия, 1972.