Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Энергия
1972
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 253[3] с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 245-254 |