|
|
|
|
| LEADER |
01557nam a2200277 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000017312 |
| 008 |
060815s1972 ru_a l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилин, Б. С.
|q Борис Степанович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Вакуумная техника в производстве интегральных схем:
|b /
|c Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Энергия
|c 1972
|
| 300 |
|
|
|a 253[3] с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 245-254
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a вакуумная техника
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 653 |
0 |
|
|a производство
|
| 653 |
0 |
|
|a тонкие пленки
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i Д 182
|p 127814
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i Д 182
|p 127820
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i Д 182
|p 127822
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i Д 182
|p 127827
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i Д 182
|p 127828
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.52:539.216.2
|a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
1 |
|
|a Нилендер, Р. А.
|4 edt
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.5/Д 182-702944
|
