Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /

Библиографическая информация
Главный автор:	Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор)
Другие авторы:	Нилендер, Р. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Энергия 1972
Предметы:	вакуумная техника интегральные микросхемы производство тонкие пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы