Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
| Главный автор: | Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор) |
|---|---|
| Другие авторы: | Нилендер, Р. А. (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Энергия
1972
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств: Учебное пособие/
по: Орликов, Леонид Николаевич
Публикация: (2000) -
Тонкопленочная технология: Пер. с англ./
по: Берри, Р., et al.
Публикация: (1972) -
Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/
Публикация: (1991) -
Вакуумная техника: Справочник/
по: Фролов, Е. С. Евгений Сергеевич, et al.
Публикация: (1992) -
Технология толстопленочных гибридных интегральных схем: Пер. с англ./
по: Хамер, Д. В., et al.
Публикация: (1975)
