Основы технологии сверхбольших интегральных схем: Пер. с яп./

Библиографическая информация
Главный автор:	Таруи, Я. Ясуо (Автор)
Другие авторы:	Лазарев, В. А. (Переводчик), Ржанов, В. Г.
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Радио и связь 1985
Предметы:	СБИС интегральные схемы электронно-лучевая литография
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы