|
|
|
|
| LEADER |
01477nam a2200265 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000017327 |
| 008 |
060815s1985 ru_аa l000 0yjpn d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Таруи, Я.
|q Ясуо
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Основы технологии сверхбольших интегральных схем:
|b Пер. с яп./
|c Я. Таруи ; пер. В. А. Лазарев ; ред. пер. В. Г. Ржанов
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Радио и связь
|c 1985
|
| 300 |
|
|
|a 478, [2] с.:
|b а-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 454-474
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a СБИС
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные схемы
|
| 653 |
0 |
|
|a электронно-лучевая литография
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Т 220
|p 224111
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Т 220
|p 224112
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Т 220
|p 224114
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Т 220
|p 415934
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.771.14.002
|
| 700 |
1 |
|
|a Лазарев, В. А.
|4 trl
|
| 700 |
1 |
|
|a Ржанов, В. Г.
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/Т 220-884756
|
