Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич (Автор), Данилин, Б. С. Борис Степанович (Автор), Кузнецов, В. И. Владимир Иванович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Радио и связь 1983
Серии:	Массовая библиотека инженера "Электроника"; Вып. 36
Предметы:	микросхемы интегральные микросхемы плазмохимическое травление ионно-химическое травление травление
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Ионное травление микроструктур: научное издание/
по: Данилин Борис Степанович, et al.
Публикация: (1979)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Публикация: (1982)

Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Травление на металлообрабатывающих заводах
по: Мастерков, Тимофей Андреевич
Публикация: (1942)

Травление кристаллов Теория. Эксперимент. Применение
по: Сангвал, Кешра
Публикация: (1990)

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Травление металлов учебное пособие для подготовки рабочих на пр-ве
по: Ямпольский, Анатолий Михайлович
Публикация: (1980)

Развитие модели плазмохимического травления на основе численного моделирования ВЧ-разряда
по: Григорьев, Юрий Николаевич

О нагреве Cd0,22Hg0,78Te в процессе ионно-лучевого травления
по: Талипов, Нияз Хатимович

Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение: Пер. с англ./
по: Сангвал, К. Кешра
Публикация: (1990)

Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления
по: Круковский, Константин Витальевич

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Влияние режимов ионно-лучевого травления на процесс радиационного нагрева CdxHg1-xTe
по: Талипов, Нияз Хатимович

Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
по: Гудымович, Елена Никифоровна

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT

Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
по: Григорьев Федор Иосифович
Публикация: (2008)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Публикация: (1994)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/
по: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Публикация: (2020)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
по: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Публикация: (2020)

The surface roughening of GaN by wet chemical etching

Изучение развития анодного растворения гетерофазного электрода путем анализа изображений поверхности
по: Тарасова, Н. В.

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Публикация: (2011)

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления
по: Мокроусов, Геннадий Михайлович

Формирование морфологии на поверхности n-GaN методом жидкостного химического травления
по: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич

Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия
по: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
по: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Публикация: (2020)

Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плазмохимического травления кремния в CF4/O2
по: Горобчук, А. Г.

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Оптимизация технологии формирования многоэлементных матричных ИК-фотоприемников на основе МЛЭ слоев CdxHg1-xТе
по: Талипов, Нияз Хатимович

Математическая модель проницаемости углеродного нанополотна

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
по: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Публикация: (2001)

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
по: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
Публикация: (2011)

Формирование и определение мышьяка на поверхности арсенида галлия
по: Зарубина, Оксана Николаевна

Состав и строение межфазных границ на полупроводниках типа AIIIBV, формирующихся в жидкой среде
по: Зарубина, Оксана Николаевна

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)