Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами: (Прециз. физ. -хим. процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Знание
1977
|
| Серии: | Новое в жизни,науке,технике:Серия "Химия";
N 4 |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |