Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами: (Прециз. физ. -хим. процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Знание
1977
|
| Series: | Новое в жизни,науке,технике:Серия "Химия";
N 4 |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 63 с. |
|---|