Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами: (Прециз. физ. -хим. процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)/

Библиографическая информация
Главные авторы: Ормонт Борис Филиппович (Автор), Смирнов Вениамин Иванович (Автор)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: М.: Знание 1977
Серии:Новое в жизни,науке,технике:Серия "Химия"; N 4
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01351nam a2200193 i 4500
001 LibTUSUR0000018272
008 060815s1977 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Ормонт  |q Борис Филиппович  |4 aut 
245 0 0 |a Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами: (Прециз. физ. -хим. процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)/  |c Борис Филиппович Ормонт, Вениамин Иванович Смирнов 
260 |a М.:  |b Знание  |c 1977 
300 |a 63 с. 
440 0 |a Новое в жизни,науке,технике:Серия "Химия";   |v N 4 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i О-674  |p 5650 б/х  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i О-674  |p 5650 б/х  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77.002 
700 1 |a Смирнов  |q Вениамин Иванович  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/О-674-408288