Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание/
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Советское радио
1978
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
18 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 94[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 92-95 |