Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Советское радио
1978
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
18 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 94[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 92-95 |