Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 6, Нанесение пленок в вакууме: рекомендовано Мин.образования/В. Е. Минайчев
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1989
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |