Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 6, Нанесение пленок в вакууме: рекомендовано Мин.образования/В. Е. Минайчев

Библиографическая информация
Главный автор:	Минайчев, В. Е. Виктор Егорович (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Высшая школа 1989
Предметы:	учебные пособия полупроводниковые приборы микроэлектроника технология тонкие пленки вакуумная техника
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы