Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ./ Ч. 2

Bibliographic Details
Main Author:	Моро, Уэйн (Author)
Other Authors:	Моро, У. Уэйнaut, Тимеров, Р. Х.
Format:	Book
Published:	М.: Мир 1990
Subjects:	микролитография резисторные структуры экспонированные резисторные структуры обработка резистных структур проявление задубливание травление безрезистная технология контроль
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items