Моро, У., Моро, У. У., & Тимеров, Р. Х. (1990). Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ. Мир.
Chicago-стиль цитированияМоро, Уэйн, У. Уэйнaut Моро, and Р. Х Тимеров. Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ. М.: Мир, 1990.
MLA-цитированиеМоро, Уэйн, et al. Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ. Мир, 1990.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
