Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ./ Ч. 2
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Мир
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 609-1240 с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце глав. -Предм. указ.: с. 1227-1235 |
| ISBN: | 5030017178 |