Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ./ Ч. 2
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Мир
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 609-1240 с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр. в конце глав. -Предм. указ.: с. 1227-1235 |
| ISBN: | 5030017178 |