|
|
|
|
| LEADER |
01845nam a2200349 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000019457 |
| 008 |
060815s1990 ru_а l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5030017178
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|4 aut
|a Моро, Уэйн
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Микролитография: Принципы, методы, материалы:
|b В 2 ч.: Пер. с англ./
|c Моро, Уэйн;У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров.
|p Ч. 2
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Мир
|c 1990
|
| 300 |
|
|
|a 609-1240 с.:
|b а-ил
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав. -Предм. указ.: с. 1227-1235
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a микролитография
|
| 653 |
0 |
|
|a резисторные структуры
|
| 653 |
0 |
|
|a экспонированные резисторные структуры
|
| 653 |
0 |
|
|a обработка резистных структур
|
| 653 |
0 |
|
|a проявление
|
| 653 |
0 |
|
|a задубливание
|
| 653 |
0 |
|
|a травление
|
| 653 |
0 |
|
|a безрезистная технология
|
| 653 |
0 |
|
|a контроль
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М80
|p 259452
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М80
|p 259453
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М80
|p 259454
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М80
|p 268962
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77
|
| 700 |
1 |
|
|a Моро, У.
|q Уэйнaut
|
| 700 |
1 |
|
|a Тимеров, Р. Х.
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/М80-069404
|
