Технология СБИС: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия микроэлектроника технология СБИС ультрабольшие интегральные микросхемы полупроводниковые подложки субмикронная литография ионное легирование термический отжиг ионное травление плазмохимическое травление осаждение пленок планаризация рельефа межсоединения межуровневая разводка
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР


LEADER	06494nam a2200973 i 4500
001	LibTUSUR0000019659
008	080923s2007 ru_aa l000 0yrus d
040			\|a nichnichnich \|b rus
100	1		\|a Данилина, Т. И. \|q Тамара Ивановна \|4 aut
245	0	0	\|a Технология СБИС: \|b Учебное пособие/ \|c Т. И. Данилина, В. А. Кагадей; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники
260			\|a Томск: \|b ТУСУР \|c 2007
300			\|a 287 с.: \|b a-ил.
504			\|a Библиогр.: с. 286-287
535	2		\|a Библиотека ТУСУР \|d https://lib.tusur.ru
653	0		\|a учебные пособия
653	0		\|a микроэлектроника
653	0		\|a технология
653	0		\|a СБИС
653	0		\|a ультрабольшие интегральные микросхемы
653	0		\|a полупроводниковые подложки
653	0		\|a субмикронная литография
653	0		\|a ионное легирование
653	0		\|a термический отжиг
653	0		\|a ионное травление
653	0		\|a плазмохимическое травление
653	0		\|a осаждение пленок
653	0		\|a планаризация рельефа
653	0		\|a межсоединения
653	0		\|a межуровневая разводка
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393444 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393445 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393446 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393447 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393448 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393449 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393450 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393451 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393452 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393453 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393454 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393455 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393456 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393457 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393458 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393459 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393460 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393461 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393462 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393463 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393464 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393465 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393466 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393467 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393468 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393470 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393471 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393472 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393473 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393474 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393475 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393476 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393477 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393478 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393479 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393480 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393481 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393482 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393483 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393484 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393486 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393487 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393488 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393489 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393929 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393932 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393933 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393469 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393485 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393930 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Д 182 \|p 393931 \|b аунл
080			\|a 621.382.049.771.14.002(075.8)
700	1		\|a Кагадей, В. А. \|4 aut
710	2	1	\|a Федеральное агентство по образованию21 \|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 \|a Кафедра физической электроники
856			\|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР \|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Д 182-097972

Технология СБИС: Учебное пособие/

Similar Items