Технология СБИС: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия микроэлектроника технология СБИС ультрабольшие интегральные микросхемы полупроводниковые подложки субмикронная литография ионное легирование термический отжиг ионное травление плазмохимическое травление осаждение пленок планаризация рельефа межсоединения межуровневая разводка
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items