Технология СБИС: Учебное пособие/

Технология СБИС: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2007
Subjects:	учебные пособия микроэлектроника технология СБИС ультрабольшие интегральные микросхемы полупроводниковые подложки субмикронная литография ионное легирование термический отжиг ионное травление плазмохимическое травление осаждение пленок планаризация рельефа межсоединения межуровневая разводка
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2020)

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2011)

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2015)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2005)

Ионное травление микроструктур: научное издание/
by: Данилин Борис Степанович, et al.
Published: (1979)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
by: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Published: (1983)

Физические основы микротехнологии
by: Броудай, Ивор
Published: (1985)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Технология СБИС в 2 кн.
Published: (1986)

Background donor concentration in HgCdTe

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
by: Галперин, Вячеслав Александрович
Published: (2010)

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Published: (1982)

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
by: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Published: (2020)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
by: Таран, Владимир Маркович
Published: (1987)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
by: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Published: (2001)

Long-term stability of electron concentration in HgCdTe-based p-n junctions fabricated with ion etching

Долговременная стабильность CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Релаксация и долговременная стабильность МЛЭ CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/
by: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Published: (2006)

Динамика электрических свойств конвертированных при ионной имплантации и ионном травлении n-слоев в р-CdxHg1-xTe

Электрофизические и оптические исследования дефектной структуры методом молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdHgTe

Перспективные технологии производства СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
Published: (2000)

Долговременная стабильность p-n переходов в МЛЭ гетероструктурах CdxHg1-xTe, сформированных ионным травлением

Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2/
by: Харламов, М. С. Максим Сергеевич
Published: (2022)

Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
Published: (1994)

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./
by: Броудай Ивор, et al.
Published: (1985)

Моделирование физических процессов в элементах кремниевых интегральных микросхем/
by: Абрамов, И. И. Игорь Иванович
Published: (1999)

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Релаксация электрофизических параметров n-слоев в МЛЭ эпитаксиальных пленках p-CdxHg1-xTe сформированных ионной имплантацией и ионным травлением

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И., et al.
Published: (2010)

Технология ионного легирования: Пер. с яп./
Published: (1974)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
by: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Published: (2010)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
by: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Published: (2011)

Анатомический атлас растений-углеобразователей палеозоя
by: Кизильштейн, Леонид Яковлевич
Published: (1999)

Проектирование СБИС: пер. с япон./
by: Ватанабэ, М. Макото, et al.
Published: (1988)

Физика и технология материалов электронной техники: Межвузовский сборник научных трудов/
Published: (1992)