Плазмохимические процессы в микроэлектронике. Тематич. указ. лит. Серия 7 "Технология, организация произ-ва и оборудование". Вып.4 (229)/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
ЦНИИ Электроника
1978
|
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |