Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.)/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
ЦНИИ Электроника
1972
|
| Series: | Серия 3."микроэлектроника";
Вып.1(9) |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |