APA Цитирование

Министерство электронной промышленности СССР. (1972). Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.). ЦНИИ Электроника.

Chicago-стиль цитирования

Министерство электронной промышленности СССР. Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.). М.: ЦНИИ Электроника, 1972.

MLA-цитирование

Министерство электронной промышленности СССР. Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.). ЦНИИ Электроника, 1972.