Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Author)
Corporate Author:	Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: Издательство ТУСУР 2000
Subjects:	плазменное распыление ионно-плазменные технологии СБИС учебные пособия производство травление тонкие пленки ионное осаждение
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items