APA (7th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Т. И., & Смирнов, С. В. С. В. (2000). Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие. Издательство ТУСУР.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, and С. В. Серафим Всеволодович Смирнов. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие. Томск: Издательство ТУСУР, 2000.

MLA (8th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, and С. В. Серафим Всеволодович Смирнов. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие. Издательство ТУСУР, 2000.